含氟電子化學品簡介：高純含氟濕化學品、電子特氣、電子氟化液、含氟電子涂層材料......
電子化學品，一般是指為電子工業配套的專用化學品，電子產品生產的過程中，往往要用到幾十種、甚至幾百種電子化學品，并且越為高檔的電子產品，對電子化學品的需求越高：品種多、品質高。同時，電子化學品質量的好壞，直接關系到電子產品質量的優劣。電子行業素有“一代材料一代產品”之說，也就是說，有先進的材料才能生產出先進的產品；新一代電子技術剛出現，就必須有新一代電子化學品與之適應。這也造就了電子化學品行業的獨特特點：品種多、更新快、批量小、增值高、超純、超凈等。
由于氟原子半徑小，是最活潑的非金屬元素，又具有較大的電負性，它形成的C-F鍵能要比C-H鍵能大得多，用氟原子和含氟基團（如三氟甲基、三氟甲氧基、二氟甲基、二氟甲氧基）代替電子化學品上的其他基團，能夠顯著提高電子化學品的活性。因此從20世紀80年代至90年代出現含氟電子化學品以來，它就備受關注與重視。
目前含氟電子化學品已成為現有眾多電子化學品中的重要一員，主要包括高純含氟濕化學品、電子特氣、電子氟化液、新能源電池電解質、含氟電子涂層材料等等，是太陽能、液晶面板、集成電路等行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一。
主要的含氟電子化學品
1.含氟超凈高純化學試劑含氟超凈高純試劑主要是作為清洗劑、蝕刻劑用于太陽能半導體、IC、液晶屏等行業，是制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一。其使用特點與含氟特種電子氣體相類似，用量小、品質要求高。為了能夠規范世界電子化學品的標準，國際半導體設備和材料協會(Semiconductor Equipment and Materials International，簡稱SEMI)于1975年成立了SEMI化學試劑標準化委員會，專門制定、規范了電子化學品的國際標準具體見表1。國內含氟超凈高純化學試劑生產企業不多、品種單一沒有統一的行業標準，目前主要以全球電子化學
品龍頭企業-德國巴斯夫的企業標準為主具體見表2。
目前，世界上含氟超凈高純化學試劑產品主要有：電子級氫氟酸(HF)、電子級氟化銨(NH4F)、電子級氟化氫銨(NH4HF2)、緩沖氧化蝕刻劑(BOE，由電子級HF和電子級NH4F按照一定比例配制而成)等。
2.含氟電子特氣含氟特氣是半導體制程的必需品，是電子特種氣體的重要組成部分，約占總量的30%左右，在半導體領域主要用于制作清洗劑、蝕刻劑，也可用于制作摻雜劑、成膜材料等。高純度含氟電子特氣作為極大規模集成電路行業必需的清洗和蝕刻氣體，可以在芯片制作過程中保障極大規模集成電路的生成，確保電路能夠有效發揮作用。含氟電子氣體的細分品類眾多，主要包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等傳統含氟電子氣體，以及COF2、ClF3、F2等新型低GWP含氟氣體。含氟電子特氣不但用于半導體工業還用于 LCD分離器件、非晶硅太陽能電池和光導纖維的制造。因高純單晶硅是一種本征半導體，其導電性能很不理想必須有控制地摻入微量的雜質元素，才能具有所需的電性能。因摻雜劑是有控制地加入，用量極小一般在萬分之幾到一萬分之幾，且直接加于硅片內因此質量品質要求甚高，必須是高純化學品。
3.電子氟化液電子氟化液是一類高穩定性的全氟或接近全氟液體，因其具有優異的性能、穩定的化學惰性、良好的導熱性能，極低的表面張力，以及系統相容性，廣泛應用于：
（1）半導體制造封裝測試；（2）導熱、冷卻介質，計算機服務器及電子元器件系統散熱介質；（3）溶媒稀釋劑、潤滑稀釋劑等其他用途溶劑；（4）冷熱沖擊測試液。
（美國3M FC-40電子氟化液）
近年來，電子產品的規模擴大與集成度越來越高，為保證電子產品質量，電子產品清洗工業也隨之快速發展，早期電子行業通常使用CFC進行清洗，但由于其會造成臭氧層破壞而被禁用，而CFC替代品例如三氯乙烯（TCE）、氫氯氟烴（HCFC）、正溴丙烷（nPB）等仍容易造成環境污染，因此只能作為過渡性替代清洗溶劑，急需采用更加環保的清洗方案。電子氟化液主要是開發低GWP、零ODP的解決方案，包括在發泡劑、清洗劑、冷卻液等領域。目前，主要方案為氫氟醚、氫氟碳及其與碳氫等化學品的組合物。
4.含氟冷卻液含氟冷卻液具有化學穩定性、不燃、不爆、低介電常數等特點，主要用于半導體、數據中心、化學工業、航天航空等領域，其中比較熱門的是用于浸沒式冷卻液降溫技術。浸沒式冷卻是利用氟化液的高絕緣性特點，將服務器發熱器件完全浸沒于氟化液中，通過氟化液直接接觸和循環傳熱，來給服務器高效散熱，可以不再依賴風扇、空調這些低效方式散熱，節能70%以上，使得數據中心的PUE值達到1.07，逼近了理論極限值1.0，大大提升了能源使用效率。在當前“碳達峰、碳中和”的大背景下，未來“能耗指標”和“碳排放指標”將會成為大數據中心核心競爭力所在。浸沒式冷卻液降溫技術不僅可以大幅度降低數據中心用能，同時也可以進一步節約空間，滿足大數據中心未來發展趨勢。
5.含氟電子涂層材料含氟電子涂層材料主要用于電子產品的抗指紋涂層、防污涂層、電子防潮涂層劑等微米或納米涂層領域。其成分主要為含氟硅氧烷、含氟丙烯酸酯、氟硅油。其中含氟抗指紋液主要是采用全氟聚醚為其實原料進行合成，是主流的電子屏幕的含氟抗指紋液。含氟電子涂層材料在我國電子行業具有廣泛的應用，是發展高端電子器件不可或缺的材料。
（含氟電子涂層（氟硅樹脂） HY-1760）
小結
含氟電子化學品在我國市場需求量越來越大，隨著國內電子技術的快速發展，尤其是國外向國內的產業轉移，國內市場上對含氟電子化學品的需求無論是數量上、質量上還是品種上都將有更高的要求，屆時含氟電子化學品將具有品種多樣化、品質系列化的局面，相信在不久的將來，世界含氟電子化學品研發在中國、生產在中國、應用在中國，國內含氟電子化學品必將迎來一個快速發展的高潮。
參考文獻
[1]孫忠賢.電子化學品[M].北京;：化學工業出版社，2001.
[2]顧民，呂靜蘭，劉江麗.化工產品配置技術精選眾書電子化學品[M].北京：中國石化出版社，2006.
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